石英舟清洗方法介绍

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　　（1）将石英舟放入浓度为10%25%的氢氟酸进行浸泡40min120min后，放入喷淋槽用纯水喷淋，喷淋时间为20min90min；

　　（2）清洗后的干燥用气体干燥剂吹干；

　　（3）石英舟的饱和将石英舟放入炉温为800°C900°C的管式扩散炉中，通入氧气和流量为10003000ml/Min三氯氧磷液态源，其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:15（4）最后用1030L/Min的氮气或者氧气冷却石英舟。